聚合物微纳制造技术

王立鼎，刘冲，徐征编著

作者王立鼎，刘冲，徐征编著
出版社北京：国防工业出版社
标注页数208 页
文件页数229 页
文件大小65.62 MB
出版时间2012
ISBN9787118083590

内容简介

本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和 RF MEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。

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聚合物微纳制造技术