微机电系统基础 原书第2版
- 作者（美）刘昶著；黄庆安译
- 出版社北京：机械工业出版社
- 标注页数398 页
- 文件页数413 页
- 文件大小103.51 MB
- 出版时间2013
- ISBN9787111406570
内容简介
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
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