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Growth mechanism and defect structures in epitaxial silicon

Growth mechanism and defect structures in epitaxial silicon

Charig, J. M.; Joyce, B. A.; Stirland, D. J.; Bicknell, R. W.

期刊名称Philosophical Magazine
作者Charig, J. M.; Joyce, B. A.; Stirland, D. J.; Bicknell, R. W.
卷第7卷
期第83期
印刷ISSN0031-8086
文件大小3026.03KB
发表时间1962-11
DOI10.1080/14786436208213850
页码1847-1860

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