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Selective Etching of Gallium Arsenide Crystals in H[sub 2]SO[sub 4]-H[sub 2]O[sub 2]-H[sub 2]O System

Selective Etching of Gallium Arsenide Crystals in H[sub 2]SO[sub 4]-H[sub 2]O[sub 2]-H[sub 2]O System

Iida, Shinya; Ito, Kazuhiro

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者Iida, Shinya; Ito, Kazuhiro
卷第118卷
期第5期
印刷ISSN0013-4651
文件大小471.78KB
发表时间1971
DOI10.1149/1.2408161

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