ChemInform Abstract: SURFACE OXIDATION OF SILICON NITRIDE FILMS
- 期刊名称Chemischer Informationsdienst
- 作者RAIDER, S. I.; FLITSCH, R.; ABOAF, J. A.; PLISKIN, W. A.
- 卷第7卷
- 期第27期
- 印刷ISSN0009-2975
- 文件大小145.17KB
- 发表时间1976-07-06
- DOI10.1002/chin.197627009
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