ChemInform Abstract: CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SILICON NITRIDE
- 期刊名称Chemischer Informationsdienst
- 作者GEBHARDT, J. J.; TANZILLI, R. A.; HARRIS, T. A.
- 卷第8卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0009-2975
- 文件大小134.20KB
- 发表时间1977-02-01
- DOI10.1002/chin.197705040
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