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Optical detector to monitor plasma etching

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W. R. Harshbarger; R. A. Porter; P. Norton
  • 作者W. R. Harshbarger; R. A. Porter; P. Norton
  • 卷第7卷
  • 期第3期
  • 印刷ISSN0361-5235
  • 电子ISSN1543-186X
  • 文件大小422.49KB
  • 发表时间1978-05
  • DOI10.1007/bf02655647
  • 页码429-440
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