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The kinetics of open tube phosphorus diffusion in silicon

The kinetics of open tube phosphorus diffusion in silicon

R.N. Ghoshtagore

作者R.N. Ghoshtagore
卷第21卷
期第10期
印刷ISSN0038-1101
文件大小418.12KB
发表时间1978
DOI10.1016/0038-1101(78)90372-6
页码1239-1243

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