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The influence of laser annealing on lattice damage in single-crystal silicon

The influence of laser annealing on lattice damage in single-crystal silicon

Porter, W. A.; Parker, D. L.; Richardson, T. Wm.; Swenson, E. J.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Porter, W. A.; Parker, D. L.; Richardson, T. Wm.; Swenson, E. J.
卷第33卷
期第10期
印刷ISSN0003-6951
文件大小389.93KB
发表时间1978
DOI10.1063/1.90203

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