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Laser Processing of Ion Implanted Silicon

Laser Processing of Ion Implanted Silicon

Appleton, B. R.; White, C. W.; Larson, B. C.; Wilson, S. R.; Narayan, J.

期刊名称IEEE Transactions on Nuclear Science
作者Appleton, B. R.; White, C. W.; Larson, B. C.; Wilson, S. R.; Narayan, J.
卷第26卷
期第1期
印刷ISSN0018-9499
文件大小2195.55KB
发表时间1979-02
DOI10.1109/tns.1979.4330463
页码1686-1692

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