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Hydrogen in semi-insulating polycrystalline silicon films

Hydrogen in semi-insulating polycrystalline silicon films

Knolle, W. R.; Maxwell, H. R.; Benenson, R. E.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Knolle, W. R.; Maxwell, H. R.; Benenson, R. E.
卷第51卷
期第8期
印刷ISSN0021-8979
文件大小677.49KB
发表时间1980
DOI10.1063/1.328302

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