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Recoil implantation of antimony into silicon

Recoil implantation of antimony into silicon

A. Grob; J.J. Grob; N. Mesli; D. Salles; P. Siffert

作者A. Grob; J.J. Grob; N. Mesli; D. Salles; P. Siffert
印刷ISSN0029-554X
文件大小481.81KB
发表时间1981
DOI10.1016/0029-554x(81)90674-1
页码85-92

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