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Novolac resins as active ingredients in positive electron resists

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Fahrenholtz, S. R.

期刊名称Journal of Vacuum Science and Technology
作者Fahrenholtz, S. R.
卷第19卷
期第4期
印刷ISSN0022-5355
文件大小2608.98KB
发表时间1981-11
DOI10.1116/1.571179

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