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CO/sub 2/ Laser Annealing of Si/sub 3/N/sub 4/, Nb/sub 2/O/sub 5/, and Ta/sub 2/O/sub 5/ Thin-Film Optical Waveguides to Achieve Scattering Loss Reduction

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Dutta, S.; Jackson, H.E.; Boyd, J.T.; Davis, R.L.; Hickernell, F.S.

作者Dutta, S.; Jackson, H.E.; Boyd, J.T.; Davis, R.L.; Hickernell, F.S.
卷第30卷
期第4期
印刷ISSN0018-9480
电子ISSN1557-9670
文件大小906.18KB
发表时间1982
DOI10.1109/tmtt.1982.1131111
页码646-652

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