发现好书期刊,享受阅读乐趣

海量图书期刊资源,随时随地畅享阅读乐趣

Vacuum systems for microelectronics

Vacuum systems for microelectronics

O’Hanlon, John F.
  • 期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
  • 作者O’Hanlon, John F.
  • 卷第1卷
  • 期第2期
  • 印刷ISSN0734-2101
  • 文件大小750.21KB
  • 发表时间1983
  • DOI10.1116/1.572078
← 返回【学霸图书馆】主页