PZT Films Prepared by Reactive Cosputtering
- 期刊名称Systems and Computers in Japan
- 作者Fukami, Tatsuo; Naoe, Masahiko
- 卷第103卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0882-1666
- 文件大小660.22KB
- 发表时间1983
- DOI10.1002/scj.4691030303
- 页码15-21
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