Organosilicon polymers for lithographic applications
- 作者J. M. Shaw; M. Hatzakis; J. Paraszczak; J. Liutkus; E. Babich
- 卷第23卷
- 期第18期
- 印刷ISSN0032-3888
- 电子ISSN1548-2634
- 文件大小660.46KB
- 发表时间1983
- DOI10.1002/pen.760231816
- 页码1054-1058
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