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Nanometer scale electron beam lithography in inorganic materials

Nanometer scale electron beam lithography in inorganic materials

Salisbury, I. G.; Timsit, R. S.; Berger, S. D.; Humphreys, C. J.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Salisbury, I. G.; Timsit, R. S.; Berger, S. D.; Humphreys, C. J.
卷第45卷
期第12期
印刷ISSN0003-6951
文件大小422.11KB
发表时间1984
DOI10.1063/1.95115

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