Phosphorus Diffusion in Amorphous Silicon

A. F. Khokhlov; V. A. Panteleev; E. V. Dobrokhotov; G. A. Maksimov; V. A. Sidorov

作者A. F. Khokhlov; V. A. Panteleev; E. V. Dobrokhotov; G. A. Maksimov; V. A. Sidorov
卷第81卷
期第1期
印刷ISSN1862-6319
文件大小216.67KB
发表时间1984
DOI10.1002/pssa.2210810151

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