Damage recovery and dopant activation phenomena in heavily arsenic-implanted silicon

G.F. Cerofolini; P. Manini; L. Meda; G.U. Pignatel; G. Queirolo; A. Garulli; E. Landi; S. Solmi; F. Nava; G. Ottaviani; M. Gallorini

作者G.F. Cerofolini; P. Manini; L. Meda; G.U. Pignatel; G. Queirolo; A. Garulli; E. Landi; S. Solmi; F. Nava; G. Ottaviani; M. Gallorini
卷第129卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小1512.90KB
发表时间1985
DOI10.1016/0040-6090(85)90100-2
页码111-125

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