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Material and Electrical Properties of Gate Dielectrics Grown by Rapid Thermal Processing

Material and Electrical Properties of Gate Dielectrics Grown by Rapid Thermal Processing

Nulman, J.; Krusius, J. P.; Renteln, P.

期刊名称MRS Proceedings
作者Nulman, J.; Krusius, J. P.; Renteln, P.
卷第52卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1303.75KB
发表时间1985-1
DOI10.1557/proc-52-341

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