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Nucleation and growth of oxide precipitates in silicon implanted with oxygen

Nucleation and growth of oxide precipitates in silicon implanted with oxygen

J. Stoemenos; J. Margail

作者J. Stoemenos; J. Margail
卷第135卷
期第1期
印刷ISSN0040-6090
文件大小2230.56KB
发表时间1986
DOI10.1016/0040-6090(86)90094-5
页码115-127

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