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Evaporated insulating layers for thin film circuits

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H. Oetzmann; H.-J. Krokoszinski; H. Gernoth; C. Schmidt

作者H. Oetzmann; H.-J. Krokoszinski; H. Gernoth; C. Schmidt
卷第140卷
期第2期
印刷ISSN0040-6090
文件大小416.67KB
发表时间1986
DOI10.1016/0040-6090(86)90264-6
页码209-215

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