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Hydrogenated amorphous silicon films deposited in a helium atmosphere

Hydrogenated amorphous silicon films deposited in a helium atmosphere

Chu, T. L.; Chu, Shirley S.; Ang, S. T.; Duong, A.; Han, Y. X.; Liu, Y. H.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Chu, T. L.; Chu, Shirley S.; Ang, S. T.; Duong, A.; Han, Y. X.; Liu, Y. H.
卷第60卷
期第12期
印刷ISSN0021-8979
文件大小612.39KB
发表时间1986
DOI10.1063/1.337467

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