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Capacitive moisture sensor devices from plasma films

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N. Inagaki; K. Oh-Ishi; K. Suzuki

作者N. Inagaki; K. Oh-Ishi; K. Suzuki
卷第31卷
期第8期
印刷ISSN0021-8995
电子ISSN1097-4628
文件大小417.75KB
发表时间1986
DOI10.1002/app.1986.070310808
页码2473-2481

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