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Effects of Rapid Thermal Processing on Thermal Oxides of Silicon

Effects of Rapid Thermal Processing on Thermal Oxides of Silicon

Lee, S.K.; Shih, D.K.; Kwong, D.L.; Alvi, N.S.; Wu, N.R.; Lee, H.S.

期刊名称MRS Proceedings
作者Lee, S.K.; Shih, D.K.; Kwong, D.L.; Alvi, N.S.; Wu, N.R.; Lee, H.S.
卷第71卷
电子ISSN1946-4274
文件大小273.55KB
发表时间1986-1
DOI10.1557/proc-71-449

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