Thin silicon epitaxial layers on preannealed silicon substrates

• 作者Dr. G. Weidner; F.-G. Kirscht; F. Richter; W. Seifert; M. Weidner; B. Glück; M. Mai; Dr. A. Vargha Kalmanné; Dr. H. Rausch
• 卷第22卷
• 期第5期
• 印刷ISSN0232-1300
• 电子ISSN1521-4079
• 文件大小505.78KB
• 发表时间1987
• DOI10.1002/crat.2170220505
• 页码651-659