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Current effects in BF2 implants in silicon

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G. Queirolo; P. Caprara; L. Meda; G. Ottaviani; M. Anderle; D. Bassi

作者G. Queirolo; P. Caprara; L. Meda; G. Ottaviani; M. Anderle; D. Bassi
印刷ISSN0168-583X
文件大小319.57KB
发表时间1987
DOI10.1016/s0168-583x(87)80067-8
页码329-334

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