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Oxidation on Target Surface in RF Sputtering of Iron Targets

Oxidation on Target Surface in RF Sputtering of Iron Targets

Ohta, S.; Terada, A.

作者Ohta, S.; Terada, A.
卷第2卷
期第3期
文件大小284.98KB
发表时间1987
DOI10.1109/tjmj.1987.4549397
页码258-260

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