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Performance of a microscopic imaging ellipsometer

Performance of a microscopic imaging ellipsometer

Beaglehole, D.

期刊名称Review of Scientific Instruments
作者Beaglehole, D.
卷第59卷
期第12期
印刷ISSN0034-6748
文件大小499.28KB
发表时间1988
DOI10.1063/1.1139897

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