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"Tailored" organometallics as precursors for the chemical vapor deposition of high-purity palladium and platinum thin films

Gozum, John E.; Pollina, Deborah M.; Jensen, James A.; Girolami, Gregory S.

期刊名称Journal of the American Chemical Society
作者Gozum, John E.; Pollina, Deborah M.; Jensen, James A.; Girolami, Gregory S.
卷第110卷
期第8期
印刷ISSN0002-7863
文件大小1010.74KB
发表时间1988-04
DOI10.1021/ja00216a073
页码2688-2689

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