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Back-side Germanium Ion Implantation Gettering of Silicon

Back-side Germanium Ion Implantation Gettering of Silicon

Baginski, Thomas A.

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者Baginski, Thomas A.
卷第135卷
期第7期
印刷ISSN0013-4651
文件大小143.68KB
发表时间1988
DOI10.1149/1.2096144

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