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Rapid Thermal Techniques for Zinc Diffusion and Metal/Gallium Arsenide Alloying to Produce Low Resistance Ohmic Contacts

Rapid Thermal Techniques for Zinc Diffusion and Metal/Gallium Arsenide Alloying to Produce Low Resistance Ohmic Contacts

Rajeswaran, G.; Lawrence, D. J.; Lee, S.-Tong; Kahen, K. B.

期刊名称MRS Proceedings
作者Rajeswaran, G.; Lawrence, D. J.; Lee, S.-Tong; Kahen, K. B.
卷第144卷
电子ISSN1946-4274
文件大小353.99KB
发表时间1988-1
DOI10.1557/proc-144-551

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