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Thin film characterization by laser interferometry combined with SIMS

Thin film characterization by laser interferometry combined with SIMS

J. Kempf; M. Nonnenmacher; H. H. Wagner

作者J. Kempf; M. Nonnenmacher; H. H. Wagner
卷第47卷
期第2期
印刷ISSN0947-8396
电子ISSN1432-0630
文件大小867.62KB
发表时间1988-10
DOI10.1007/bf00618878
页码137-145

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