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RESIST SCHEMES FOR SUBMICRON OPTICAL LITHOGRAPHY

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COOPMANS, F.

期刊名称Le Journal de Physique Colloques
作者COOPMANS, F.
卷第49卷
印刷ISSN0449-1947
文件大小3375.30KB
发表时间1988-09
DOI10.1051/jphyscol:19884152

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