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Dissociative chemisorption of NF3 at Si(100) surfaces

Dissociative chemisorption of NF3 at Si(100) surfaces

J.A. Shorter; J.G. Langan; J.I. Steinfeld

作者J.A. Shorter; J.G. Langan; J.I. Steinfeld
卷第219卷
期第3期
文件大小261.81KB
发表时间1989
DOI10.1016/0039-6028(89)90500-1

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