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The passivation of silicon devices by aSi:H films

The passivation of silicon devices by aSi:H films

Yuliang He

作者Yuliang He
卷第32卷
期第5期
印刷ISSN0038-1101
文件大小271.40KB
发表时间1989
DOI10.1016/0038-1101(89)90123-8
页码355-359

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