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Crystalline quality of heteroepitaxial silicon on epitaxial NiSi2/Si(100)

Crystalline quality of heteroepitaxial silicon on epitaxial NiSi2/Si(100)

Masahiro Itoh; Masako Kinoshita; Tuneo Ajioka; Masanori Itoh; Taroh Inada

作者Masahiro Itoh; Masako Kinoshita; Tuneo Ajioka; Masanori Itoh; Taroh Inada
印刷ISSN0169-4332
文件大小345.75KB
发表时间1989
DOI10.1016/0169-4332(89)90067-6
页码262-265

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