Formation of titanium nitride layers from a gaseous phase with the participation of a chemical reaction

• 作者J. Michalski; T. Wierzchoń
• 卷第8卷
• 期第7期
• 印刷ISSN0261-8028
• 电子ISSN1573-4811
• 文件大小182.72KB
• 发表时间1989-07
• DOI10.1007/bf01730135
• 页码779-780