Analysis of impurity concentration distributions in pulled semiconductor crystals
- 作者Y. Hayakawa; Y. Saitou; Y. Sugimoto; M. Kumagawa
- 卷第19卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0361-5235
- 电子ISSN1543-186X
- 文件大小691.60KB
- 发表时间1990-02
- DOI10.1007/bf02651739
- 页码145-149
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