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Formation of titanium disilicide using different annealing methods

F. Richter; E. Bugiel; R. Grötzschel; H. Reichardt; A. Schöpke; E. Wieser; F. Wolf

作者F. Richter; E. Bugiel; R. Grötzschel; H. Reichardt; A. Schöpke; E. Wieser; F. Wolf
卷第44卷
期第2期
印刷ISSN0169-4332
文件大小334.80KB
发表时间1990
DOI10.1016/0169-4332(90)90099-l
页码127-131