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Kinetics and Thermodynamics of Amorphous Silicide Formation in Metal/Amorphous-Silicon Multilayer Thin Films

Kinetics and Thermodynamics of Amorphous Silicide Formation in Metal/Amorphous-Silicon Multilayer Thin Films

Thompson, C. V.; Clevenger, L. A.; DeAvillez, R.; Ma, E.; Miura, H.

期刊名称MRS Proceedings
作者Thompson, C. V.; Clevenger, L. A.; DeAvillez, R.; Ma, E.; Miura, H.
卷第187卷
电子ISSN1946-4274
文件大小2069.14KB
发表时间1990-1
DOI10.1557/proc-187-61

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