SiC Film Deposited by Pulsed Excimer Laser Ablation
Tench, R. J.; Balooch, M.; Connor, A. L.; Bernardez, L.; Olson, B.; Allen, M. J.; Siekhaus, W. J.; Olander, D. R.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Tench, R. J.; Balooch, M.; Connor, A. L.; Bernardez, L.; Olson, B.; Allen, M. J.; Siekhaus, W. J.; Olander, D. R.
- 卷第191卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小1072.30KB
- 发表时间1990-1
- DOI10.1557/proc-191-61