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Adsorption and Decomposition of Diethylsilane on Silicon Surfaces

Adsorption and Decomposition of Diethylsilane on Silicon Surfaces

Coon, P.A.; Wise, M.L.; Dillon, A.C.; Robinson, M.B.; George, S.M.

期刊名称MRS Proceedings
作者Coon, P.A.; Wise, M.L.; Dillon, A.C.; Robinson, M.B.; George, S.M.
卷第204卷
电子ISSN1946-4274
文件大小337.59KB
发表时间1990-1
DOI10.1557/proc-204-303

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