Plasma Anodization of Silicon Nitride
V. P. Parkhutik; Yu. E. Makushok; S. Yu. Borisov; D. V. Yakovlev; J. M. Martinez-Duart; J. M. Albella; A. Climent
- 作者V. P. Parkhutik; Yu. E. Makushok; S. Yu. Borisov; D. V. Yakovlev; J. M. Martinez-Duart; J. M. Albella; A. Climent
- 卷第121卷
- 期第2期
- 印刷ISSN1862-6319
- 文件大小263.98KB
- 发表时间1990
- DOI10.1002/pssa.2211210246