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SNMS studies of ULSI gate interconnection structures

SNMS studies of ULSI gate interconnection structures

L. Moro; P. Lazzeri; G. Ottaviani; L. Bacci; G. Queirolo; M. Anderle

作者L. Moro; P. Lazzeri; G. Ottaviani; L. Bacci; G. Queirolo; M. Anderle
卷第341卷
印刷ISSN0937-0633
电子ISSN1432-1130
文件大小480.62KB
发表时间1991-09-12
DOI10.1007/bf00322100
页码20-24

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