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A dechanneling investigation of MeV oxygen implanted silicon

A dechanneling investigation of MeV oxygen implanted silicon

A. Grob; J.J. Grob; P. Thévenin; P. Siffert

作者A. Grob; J.J. Grob; P. Thévenin; P. Siffert
卷第58卷
期第2期
印刷ISSN0168-583X
文件大小649.83KB
发表时间1991
DOI10.1016/0168-583x(91)95594-4
页码236-241

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