The Nissin PR-80A high current ion implantation system

• 作者T. Kawai; M. Chohtokudani; M. Naito; T. Hiramatsu; M. Sasaki; T. Sunouchi; Y. Nishigami; T. Matsumoto; M. Nakaya; M. Nakazawa
• 卷第55卷
• 印刷ISSN0168-583X
• 文件大小544.84KB
• 发表时间1991
• DOI10.1016/0168-583x(91)96209-4
• 页码443-447