On the origin of compressive stress in PVD coatings — an explicative model
O. Knotek; R. Elsing; G. Krämer; F. Jungblut
- 作者O. Knotek; R. Elsing; G. Krämer; F. Jungblut
- 卷第46卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0257-8972
- 文件大小635.76KB
- 发表时间1991
- DOI10.1016/0257-8972(91)90169-w
- 页码265-274