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Wet and Dry Etching of InGaP

Wet and Dry Etching of InGaP

Lothian, J. R.; Kuo, J. M.; Pearton, S. J.; Ren, F.

期刊名称MRS Proceedings
作者Lothian, J. R.; Kuo, J. M.; Pearton, S. J.; Ren, F.
卷第240卷
电子ISSN1946-4274
文件大小295.66KB
发表时间1991-1
DOI10.1557/proc-240-307

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